ชิ้นส่วนกลึง CNC เซมิคอนดักเตอร์

เราผลิตตามแบบชิ้นส่วนเครื่องจักรกลซีเอ็นซีเซมิคอนดักเตอร์จากแบบของลูกค้าและไฟล์ CAD รวมถึงส่วนประกอบห้องสุญญากาศ แผ่นและข้อต่อจ่ายแก๊ส ชิ้นส่วนการจัดการและจับยึดแผ่นเวเฟอร์ ส่วนประกอบปั๊มและวาล์ว ชิ้นส่วน RF แผ่นทำความเย็น แผ่นระบายความร้อน และส่วนประกอบชุดกระบวนการ. การกลึง CNC การกัด การตัดเฉือน 5-แกน CNC ของสวิส และการกลึง-ของเรารองรับส่วนประกอบที่มีความทนทานสูงสำหรับการกัด การสะสม การพิมพ์หิน การฝังไอออน CMP และอุปกรณ์มาตรวิทยา

 

ชิ้นส่วนอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์อาศัยอยู่ในโลกที่แตกต่างจากชิ้นส่วนอุตสาหกรรมทั่วไป: ชิ้นส่วนเหล่านั้นจะต้องอยู่รอดข้อกำหนดในสุญญากาศ ก๊าซในกระบวนการที่มีฤทธิ์กัดกร่อน พลาสมา การหมุนเวียนของอุณหภูมิ และ{0}}การควบคุมอนุภาค. ดังนั้นการเลือกวัสดุจึงเป็นการตัดสินใจครั้งแรกในโครงการตัดเฉือนเซมิคอนดักเตอร์ เราตัดเฉือนเกรดที่แน่นอน -316L VIM-VAR และ 316L สแตนเลส, อะลูมิเนียม 6061-T6 และ 7075-T6, ไทเทเนียมเกรด 5, โมลิบดีนัม TZM, ทองแดง OFHC C10100, โลหะผสมนิกเกิล และพลาสติกวิศวกรรม PEEK/PTFE- และใช้การตกแต่งห้องคลีนรูม-ที่เข้ากันได้ในกรณีที่แอปพลิเคชันต้องการ ชิ้นส่วนได้รับการผลิตตามขนาด ความคลาดเคลื่อน วัสดุ และข้อกำหนดการตกแต่งที่ระบุ โดยมีใบรับรองวัสดุตามคำขอ

 

ตั้งแต่ต้นแบบเดี่ยวสำหรับการพัฒนาเครื่องมือใหม่ไปจนถึงการผลิตซ้ำสำหรับชุดกระบวนการสำรอง เราตัดเฉือนส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์จนถึงแบบวาด - ไม่ว่าปริมาณจะเท่าใดก็ตาม

 

ส่งแบบร่างชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ- ส่งแบบร่างหรือไฟล์ CAD ของคุณเพื่อตรวจสอบวัสดุและการตัดเฉือน

 

มีชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์แบบกำหนดเองหรือไม่? ส่งไฟล์ CAD ของคุณ

 

 

สำหรับส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ การเลือกใช้วัสดุขึ้นอยู่กับความเข้ากันได้ของสุญญากาศ เคมีของกระบวนการ ความต้านทานของพลาสมา อุณหภูมิ แม่เหล็ก การสร้างอนุภาค และการจัดการความร้อน. เราตัดเฉือนวัสดุโลหะและพลาสติกวิศวกรรมหลายประเภทสำหรับห้องเพาะเลี้ยง ระบบแก๊ส การจัดการแผ่นเวเฟอร์ RF และชิ้นส่วนระบายความร้อน

วัสดุ	เกรดทั่วไป	การใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ทั่วไป	ข้อได้เปรียบที่สำคัญ
อลูมิเนียม	6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32	ตัวห้อง แผ่นฐาน แขนหุ่นยนต์ แผงระบายความร้อน วงเล็บ	น้ำหนักเบา สามารถชุบอโนไดซ์ได้ มีการนำความร้อนได้ดี 6061-T6 เป็นอุปกรณ์หลักสำหรับฮาร์ดแวร์ห้องเพาะเลี้ยง
สแตนเลส	304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630)	หน้าแปลนสุญญากาศ ข้อต่อแก๊ส ชิ้นส่วนวาล์ว อุปกรณ์ฮาร์ดแวร์ที่มีความแข็งแรงสูง-	ทนต่อการกัดกร่อนและอุณหภูมิ 316L VIM-VAR เป็นมาตรฐานสำหรับบริการปล่อยก๊าซ UHV ต่ำ-
ไทเทเนียม	เกรด 2 (CP) · เกรด 5 (Ti-6Al-4V)	ชิ้นส่วนจ่ายแก๊ส ชุดกระบวนการ ฮาร์ดแวร์การประมวลผลแบบเปียก	ทนต่อพลาสมาและสารเคมี มีความแข็งแรงสูง-ถึง-น้ำหนัก ไม่ใช่-แม่เหล็ก
ทองแดง	C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 ทองแดงเบริลเลียม	ชิ้นส่วน RF, แผ่นทำความเย็น, สปริงหน้าสัมผัส, อุปกรณ์ไฟฟ้า	การนำไฟฟ้าและความร้อนที่ดีเยี่ยม OFHC เหมาะสำหรับการจัดการ RF และความร้อน
โลหะผสมนิกเกิล	อินโคเนล 718 · ฮาสเตลลอย C-276 · อินวาร์ 36	ข้อต่อทนสารเคมี- ชิ้นส่วนที่มีอุณหภูมิสูง- โครงสร้างมาตรวิทยา	ทนต่อสารเคมีและอุณหภูมิ Invar 36 มีการขยายตัวทางความร้อนเกือบ-เป็นศูนย์

 

 

ไม่แน่ใจว่าเกรดไหนเหมาะกับส่วนของคุณใช่ไหม?ส่งสภาพแวดล้อมของกระบวนการมาให้เรา (ระดับสุญญากาศ เคมีของก๊าซ อุณหภูมิ การสัมผัสคลื่นวิทยุ) พร้อมด้วยภาพวาดของคุณ - เราจะแนะนำวัสดุและการตกแต่งพื้นผิวก่อนเสนอราคา

 

ส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์มักต้องการความแม่นยำระดับไมครอน-บนผิวหน้าการซีล จุดยึด จุดเวเฟอร์- พื้นผิวสัมผัส และรูเจาะที่แม่นยำ ดังนั้นเครื่องมือจึงประกอบอย่างถูกต้องและกระบวนการยังคงทำซ้ำได้

 

ข้อมูลจำเพาะ	ความสามารถทั่วไป	การใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ทั่วไป
มิติเชิงเส้น	±0.01 มม. (ความแม่นยำถึง ±0.005 มม.)	ชิ้นส่วนห้อง แผ่นฐาน ท่อร่วม
เส้นผ่านศูนย์กลางรูและเพลา	±0.005–0.01 มม	โรเตอร์ปั๊ม ก้านวาล์ว อุปกรณ์ประกอบที่แม่นยำ
ความเรียบ	เหลือเพียง 0.01 มม./100 มม	หน้าซีล แผ่นทำความเย็น ตัวยึดจลนศาสตร์
ศูนย์กลาง/ความหนีศูนย์	เหลือเพียง 0.01 มม	ชิ้นส่วนปั๊มหมุน,ข้อต่อ
ตำแหน่งที่แท้จริง	±0.01 มม	รูปแบบรูโบลต์- รูจ่ายก๊าซ
ความหยาบผิว	มาตรฐาน Ra 0.2–0.8 μm; Ra 0.1–0.4 μm ตามคำขอ	หน้าปิดผนึก แผ่นเวเฟอร์-พื้นผิวสัมผัส ภายในห้อง
การลบคมขอบ	ควบคุมตามรูปวาด (มีการลบคมแบบไมโคร-)	อนุภาคทั้งหมด-ส่วนสำคัญ
ความอดทนของด้าย	ตามข้อกำหนดของ ISO / ASME	ฟิตติ้ง, หน้าแปลน, อุปกรณ์ติดตั้ง

 

คุณสมบัติที่สำคัญที่เราควบคุม

การซีลและโอ-ร่องแหวน- ควบคุมความลึก ความกว้าง และพื้นผิวสำหรับซีลสุญญากาศและของเหลว

เวเฟอร์-ติดต่อ Surfacesการควบคุมความเรียบและความหยาบ - เพื่อหลีกเลี่ยงความเสียหายของแผ่นเวเฟอร์และการสร้างอนุภาค

การเจาะที่แม่นยำและพอดี- รูที่แม่นยำสำหรับแบริ่ง เพลา และส่วนประกอบการอัด-

รูจ่ายแก๊ส- ขนาดรู ตำแหน่ง และการลบคมที่แน่นอนเพื่อการไหลของก๊าซที่สม่ำเสมอ

คุณสมบัติ Datum และการติดตั้ง- ข้อมูลที่สอดคล้องกันสำหรับการประกอบและการจัดตำแหน่งที่ทำซ้ำได้

 

การตกแต่งพื้นผิวเป็นส่วนหนึ่งของกลยุทธ์การปนเปื้อนและการกัดกร่อนในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ พื้นผิวที่เหมาะสมจะควบคุมอนุภาค การปล่อยก๊าซ ความต้านทานต่อสารเคมี และพฤติกรรมทางไฟฟ้า

ไม่แน่ใจว่าการตกแต่งแบบใดที่เหมาะกับกระบวนการของคุณใช่หรือไม่ส่งแบบวาด วัสดุ และใบสมัครของคุณเพื่อรับคำแนะนำในการตกแต่ง

 

เราตรวจสอบขนาด ความพอดี ความเรียบ ความเบี่ยงเบนหนีศูนย์ และข้อกำหนดพื้นผิวที่สำคัญตลอดการผลิตเพื่อให้แน่ใจว่าชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ที่กลึงด้วย CNC ตรงตามแบบ สำหรับโครงการที่ต้องการเอกสารรับรองคุณภาพ เราสามารถจัดหาใบรับรองวัสดุ รายงานขนาด และเอกสารด้านความสะอาดเพื่อรองรับการตรวจสอบขาเข้าของคุณได้

ต้องการเอกสารควบคุมคุณภาพหรือไม่?ส่งแบบและข้อกำหนดการตรวจสอบของคุณมาให้เรา

 

โครงการเซมิคอนดักเตอร์มักเริ่มต้นด้วยต้นแบบ - การออกแบบเครื่องมือใหม่ การพัฒนาชุดกระบวนการ อัปเกรดชิ้นส่วนหรือส่วนประกอบทดแทนที่ต้องได้รับการตรวจสอบก่อนการผลิต เราสนับสนุนต้นแบบและการตัดเฉือน CNC ปริมาณ-ต่ำตั้งแต่ตัวอย่างเริ่มแรกไปจนถึงการสั่งซื้อซ้ำจำนวนเล็กน้อย-

เหมาะสำหรับ

ห้องสุญญากาศและอุปกรณ์ส่งก๊าซ

การจัดการเวเฟอร์และส่วนประกอบการจับยึด

ชิ้นส่วนกัด การสะสม และการฝังไอออน

RF ชิ้นส่วนการจัดการไฟฟ้าและความร้อน

อุปกรณ์มาตรวิทยาและอุปกรณ์ตรวจสอบ

ชิ้นส่วนอะไหล่และชุดกระบวนการสำหรับเครื่องมือที่มีอยู่

 

บรรจุภัณฑ์

การคุ้มครองส่วนบุคคล:ถุง PE โฟม หรือฟิล์มป้องกันสำหรับพื้นผิวกลึง

บรรจุภัณฑ์คลีนรูม:ชิ้นส่วนที่ทำความสะอาดแล้วบรรจุถุงสองครั้ง-ในถุงสะอาด (มีตัวเลือกการล้างไนโตรเจน-)

ชิ้นส่วนขนาดเล็ก:กล่องแบ่งพาร์ติชันเพื่อป้องกันการขีดข่วนและ{0}}แยก-การสัมผัสกัน

ชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำ:ช่องใส่โฟมและช่องแยกสำหรับส่วนประกอบที่สำคัญ

บรรจุภัณฑ์แบบกำหนดเอง:หมายเลขชิ้นส่วน ฉลาก ปริมาณ และ-ข้อกำหนดการบรรจุเฉพาะของลูกค้า

 

ระยะเวลารอคอยโดยทั่วไป

ประเภทการสั่งซื้อ	ระยะเวลารอคอยโดยทั่วไป
ต้นแบบ	5-10 วันทำการ
การสั่งซื้อปริมาณต่ำ-	10-20 วันทำการ
สั่งผลิต	15–30 วันทำการ
สั่งซ้ำ	10–25 วันทำการ

 

ต้องการกำหนดการส่งมอบที่เฉพาะเจาะจงหรือไม่?ส่งแบบ ปริมาณ และข้อกำหนดการตกแต่งสำหรับใบเสนอราคาเฉพาะโครงการ-

 

ส่งแบบ 2D หรือไฟล์ CAD 3D เกรดวัสดุ ปริมาณ ความคลาดเคลื่อน และข้อกำหนดการตกแต่ง.

 

ป้ายกำกับยอดนิยม: ชิ้นส่วนกลึงซีเอ็นซีเซมิคอนดักเตอร์ ประเทศจีนผู้ผลิตชิ้นส่วนกลึงซีเอ็นซีเซมิคอนดักเตอร์ ซัพพลายเออร์ โรงงาน ไทเทเนียม